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美国光动激光干涉仪的校准步骤

发布时间:2018-01-26 点击量:412

    美国光动激光干涉仪的校准步骤

  美国光动激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具,可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线,为数控机床的误差修正提供可靠依据,现场使用尤为方便。美国光动激光干涉仪配有各种附件,可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差。美国光动激光干涉仪也是一种高精度位移传感器,可直接用于高精度、大尺寸的动态位移测量系统。美国光动激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能,可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。
  美国光动激光干涉仪采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,美国光动激光干涉仪实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术,美国光动激光干涉仪实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出,采用不同的光学镜组与激光配合,得到不同的干涉信号,然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据,将数据通过计算机进行显示和动态分析。
  美国光动激光干涉仪校准步骤:先近后远,近调上下左右,远调俯仰扭摆。
  1、架设好激光头后,先将激光头的左右、俯仰、扭摆居中,再将美国光动激光干涉仪激光头调至水平,在激光头上安装好标准光闸。
  2、将线性干涉镜和测量反射镜置于较近位置,调节美国光动激光干涉仪干涉镜与反射镜之间的相对位置,使反射回来的两束光线完全重合,调节三角架使重合后的反射光线进入回光孔,保证五个光强指示灯全亮。此处请勿大范围调节美国光动激光干涉仪激光头上的俯仰和扭摆旋钮,仅限微调。
  3、将线性干涉镜与测量反射镜距离zui远,根据近、远端光线照射的位置,可判断出激光头发出光线的倾斜方向,扭摆三角架使激光头向倾斜方向的相反方向扭摆,再平移三角架使激光大致照射在干涉镜正中偏上1/2处。查看光闸,若无两束光线返回,则继续扭摆和移动三角架,直至两光点出现,并使两光点相距较近。
  4、微调俯仰、扭摆,使两束反射光线完全重合。
  5、通过升降三角架和调节美国光动激光干涉仪激光头的左右位置,使重合后的反射光束射入回光孔。
  6、查看五个光强指示灯是否全亮,若无,请重复步骤2~5,直至近、远两端位置,五个光强指示灯全亮。
  7、美国光动激光干涉仪安放补偿元件,进行线性测量。

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